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本发明提供一种可以生产性良好地形成抗蚀剂图案的方法。其解决方法是，将设置在含有可以将光能转换成热能的光热转换材料的基体材料（５）上的含有抗蚀剂材料的抗蚀剂层（６）和被处理材料（１）对置，在基体材料（５）的所定区域内照射光，使与所定区域相应的...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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