下载具低电阻含金属薄层的制造方法的技术资料

文档序号:3204827

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本发明是相关于产生具有低电阻的含金属层的方法,在该方法中,首先,具有一第一粒径尺寸的一含金属层(5’)是加以形成至一再结晶厚度(d1),然后,一再结晶是在此再结晶厚度(d1)加以执行,以产生具有一较大粒径尺寸的含金属层(5”),最后,具有该...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。

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