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一种设计图形的制作方法，该方法具备如下的工序：准备含有第１孔图形的第１设计图形的工序；求上述第１孔图形和与第１孔图形相邻的图形之间的距离的工序；根据上述距离和形成在光刻胶膜上的孔图形在加热光刻胶膜时的缩小量，求上述第１孔图形的扩大量的工序；...
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