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磁致伸缩元件的制造方法、烧结方法技术
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文档序号:3204758
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本发明的目的是提供防止气孔的发生、能够使合格率提高的磁致伸缩元件的制造方法、烧结方法。在最终成为磁致伸缩元件的成型体的烧结工序中,在炉内升温时,成型体中含有的氢化物热分解,在氢气被放散的温度范围由真空泵对炉内气氛进行吸附,将炉内压力保持为负...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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