磁致伸缩元件的制造方法、烧结方法技术

本发明专利技术的目的是提供防止气孔的发生、能够使合格率提高的磁致伸缩元件的制造方法、烧结方法。在最终成为磁致伸缩元件的成型体的烧结工序中，在炉内升温时，成型体中含有的氢化物热分解，在氢气被放散的温度范围由真空泵对炉内气氛进行吸附，将炉内压力保持为负压，促进氢气从成型体中放散。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁致伸缩元件的制造方法、含有氢化物的烧结对象物的烧结方法。
技术介绍
以往，线性驱动器、振动器、压力转矩传感器、振动传感器以及陀螺传感器等都在使用磁致伸缩元件。在该磁致伸缩元件用于线性驱动器、振动器等场合，通过使施加的磁场变化使磁致伸缩元件的尺寸变化而产生驱动力。另外，在将磁致伸缩元件用于压力转矩传感器、振动传感器以及陀螺传感器等场合，借助于从外部施加的压力使磁致伸缩元件的尺寸变化，由此检测发生变化的导磁率，进行判定。通过将规定的组成的合金粉末在磁场中成型而形成成型体后，在惰性气体保护气氛中烧结该成型体从而制造出这样的磁致伸缩元件(例如，参照特开2003-3203号公报第4页)。该磁致伸缩元件的烧结工序中，作为磁致伸缩元件的成型体在烧结中容易氧化，并且由于作为烧结热源的加热器的辐射热的影响容易产生变色等，因此将成型体收容到密闭容器内。但是，上述那样的以往的技术存在以下所示的问题。作为磁致伸缩元件的成型体，在原料中含有氢化物时，如果在烧结工序升温成型体，氢化物热分解会产生氢气，氢气从成型体中放散。如果将作为磁致伸缩元件的成型体在收容于密闭容器内的状态下产生氢气时，密闭本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于：包括将含有氢化物的原料合金粉末进行磁场中成型而得到成型体的工序、在使保护气氛减低到规定压力以下的状态下、将所述成型体升温到第一温度的工序、以及达到所述第一温度后供给规定的保护气氛、使保护气氛温度上升到第二温度而烧结所述成型体的工序。

【技术特征摘要】
JP 2003-7-30 203926/20031.一种磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于包括将含有氢化物的原料合金粉末进行磁场中成型而得到成型体的工序、在使保护气氛减低到规定压力以下的状态下、将所述成型体升温到第一温度的工序、以及达到所述第一温度后供给规定的保护气氛、使保护气氛温度上升到第二温度而烧结所述成型体的工序。2.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于所述第一温度为450℃或以上但不足750℃。3.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于在使温度上升到所述第一温度的工序中，所述保护气氛为近似真空状态。4.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于达到所述第一温度后，被供给的所述保护气氛为非氧化性气体。5.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于所述第二温度为1150至1230℃。6.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于所述原料合金粉末为具有公式(1)RTy所表示的组成，式中R是1种或以上的稀土类金属，T是1种或以上的过渡性金属，y表示1＜y＜4，其中，稀土类金属是包括Y的概念。7.根据权利要求6所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于所述R为Tb和Dy。8.根据权利要求7所述的磁致伸缩元件的制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：野老诚吾，富泽史郎，森辉夫，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]