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本发明涉及一种利用一基底(1)来制造含微型元件(6)的薄层(5)的方法。所述方法为了每个层体(5)而具体包括如下的步骤:a)依照基底(1)表面上形成的多个注入区,将至少一种气态物质局部地注入到所述基底(1)中,通过适当地选择注入深度和所述注...该专利属于原子能委员会;S.O.I.泰克绝缘体硅技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过原子能委员会;S.O.I.泰克绝缘体硅技术公司授权不得商用。