下载自扫描型发光元件阵列芯片及制造方法、光写入头、光打印机的技术资料

文档序号:3204750

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本发明提供一种自扫描型发光元件阵列,使用Si作为构造材料并在Si衬底上形成。在Si衬底30上形成栅失配缓和层32。通过外延成长,在栅失配缓和层32上依次层叠n型AlGaAs层14、p型AlGaAs层16、n型AlGaAs层18、p型AlGa...
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