下载保持衬底用的装置的技术资料

文档序号:3204689

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于生产光电元件的容纳衬底(S)特别是晶片或硅衬底用的装置。本发明的装置包括两个互相对置的壁(1),其中设置至少两个连接壁(1)的棒状承载元件(2,3),而承载元件(2,3)设有制动机构(5),用于保持沿平行于壁(1)取向的垂...
该专利属于阿斯特克半导体技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿斯特克半导体技术有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。