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薄膜晶体管阵列基板的制造方法技术
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文档序号:3204666
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一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法,包括: 在一基板上形成一栅极以及与该栅极电性连接的一扫描配线; 在该基板上形成一栅极绝缘层,覆盖该栅极以及该扫描配线; 在该栅极上方的该栅极绝缘层上定义出一通道层以及一欧姆接触层; ...
该专利属于广辉电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广辉电子股份有限公司授权不得商用。
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