下载薄膜晶体管阵列基板的制造方法的技术资料

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一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法,包括:    在一基板上形成一栅极以及与该栅极电性连接的一扫描配线;    在该基板上形成一栅极绝缘层,覆盖该栅极以及该扫描配线;    在该栅极上方的该栅极绝缘层上定义出一通道层以及一欧姆接触层;    ...
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