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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3204651
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提供半导体器件及其制造方法,半导体器件包括栅极互连24a,形成在半导体衬底14上,并包括栅极,栅极互连与半导体衬底间形成栅极绝缘膜22;靠近栅极互连24a端部形成的第一源极/漏极扩散层28;远离栅极互连24a及第一源极/漏极扩散层28形成的...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
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