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本实用新型涉及半导体电子元件生产技术领域，具体公开了一种基于油介质的真空快速升降温装置，包括外箱体、内箱体、真空管、吸泵、散热器、加热槽以及电磁阀，所述内箱体固定设置在外箱体内部，所述真空管与内箱体内部管道相连，所述吸泵串联在真空管上；所述...
该专利属于上海目尼实验设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海目尼实验设备有限公司授权不得商用。

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