一种基于油介质的真空快速升降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体电子元件生产技术领域，具体公开了一种基于油介质的真空快速升降温装置，包括外箱体、内箱体、真空管、吸泵、散热器、加热槽以及电磁阀，所述内箱体固定设置在外箱体内部，所述真空管与内箱体内部管道相连，所述吸泵串联在真空管上；所述加热槽中设置有加热器，所述散热器、加热槽相互并联在真空管道上；所述电磁阀设置有四组，四组电磁阀分别设置在散热器、加热槽两侧的真空管道上，且电磁阀与PLC控制器电性连接；本实用新型专利技术通过PLC控制器控制电磁阀组与吸泵及散热器、加热器等部件工作，能够根据工作需要，提供高温或者降温的工作环境；相较于自然冷却时间，本方案运作可提高3~6倍的工作效率。方案运作可提高3~6倍的工作效率。方案运作可提高3~6倍的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于油介质的真空快速升降温装置


[0001]本技术涉及半导体电子元件生产
，具体为一种基于油介质的真空快速升降温装置。

技术介绍

[0002]电子元器件在生产过程中需要用到真空无尘的生产过程，通过高温静电除尘，在高温完成处理后由于无法快速冷却工艺只能等待自然冷却后进行更换加工的产品，使得在整个生产过程中时间变得太长，影响了生产的效率，因为高温真空状态下，箱体内温度过高，在没有冷却到安全温度情况下，人为接触会对人本身造成伤害，故此本技术提供了一种新的技术方案。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种基于油介质的真空快速升降温装置，以解决现有温控升降温装置由于无法快速冷却而容易影响生产效率，则造成电能消耗,生产时间增长，使得装置加工成本提高的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于油介质的真空快速升降温装置，包括外箱体、内箱体、真空管、吸泵、散热器、加热槽以及电磁阀，所述内箱体固定设置在外箱体内部，所述真空管与内箱体内部管道相连，并与内部管道形成闭合回路；所述吸泵串联在真空管上；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：包括外箱体（1）、内箱体（2）、真空管（5）、吸泵（6）、散热器（7）、加热槽（8）以及电磁阀（10），所述内箱体（2）固定设置在外箱体（1）内部，所述真空管（5）与内箱体（2）内部管道相连，并与内部管道形成闭合回路；所述吸泵（6）串联在真空管（5）上；所述加热槽（8）中设置有加热器（9），所述散热器（7）、加热槽（8）相互并联在真空管（5）上；所述电磁阀（10）设置有四组，四组电磁阀（10）分别设置在散热器（7）、加热槽（8）两侧的真空管（5）上，且电磁阀（10）与PLC控制器电性连接，所述散热器（7）、加热器（9）均与PLC控制器电性连接。2.根据权利要求1所述的一种基于油介质的真空快速升降温装置，其特征在于：所述内箱体（2）内部管道为U形盘管（4），所述U形盘管（4）通过盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刘刘，余枫，
申请(专利权)人：上海目尼实验设备有限公司，
类型：新型
国别省市：