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一种薄膜晶体管的制造方法及其结构，其中形成薄膜晶体管的多晶硅层的方法至少包括步骤：提供一基板，该基板具有一绝缘表面；在该绝缘表面上形成一非晶硅层；提供一气氛使非晶硅层结晶，以形成一多晶硅层，其中，气氛至少包括氮气和氧气，且具有一氧气浓度范围...
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