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用于勘测位于封闭的晶片盒内的晶片的方法和装置制造方法及图纸
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下载用于勘测位于封闭的晶片盒内的晶片的方法和装置的技术资料
文档序号:3204429
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在不必打开盒的情况下,勘测盒中的晶片。该盒对于特定类型的辐射至少是半透明的。通过盒的透明或半透明部分,辐射源指向盒中,对该辐射敏感的图像传感器检测盒内晶片反射出的辐射。第二辐射源和第二照相机从不同角度优选提供晶片的附加图像。通过处理这些图像...
该专利属于阿斯莫国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过阿斯莫国际公司授权不得商用。
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