下载混合平面和FinFET CMOS器件的技术资料

文档序号:3204415

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本发明提供一种含有位于同一个SOI衬底上的平面单栅极FET和FinFET的集成半导体电路。具体地,该集成半导体电路包括位于绝缘体上硅衬底的埋置绝缘层顶上的FinFET和平面单栅极FET,平面单栅极FET位于绝缘体上硅衬底的构图的顶部半导体层...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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