下载一种具有空气间隔的集成电路结构及其制作方法的技术资料

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一种具有空气间隔的集成电路结构,其特征在于所述结构包含有:    一基底,其上具有一底层;    一第一层金属导线图案,形成于该底层上;    一第二层金属导线图案,形成于该第一层金属导线图案上方;    一支撑结构,形成于该第一层金属导线...
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