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氮化物多量子阱发光二极管结构的生长方法技术
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文档序号:3204405
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一种氮化物多量子阱发光二极管结构的生长方法,其步骤包括: 1)采用金属有机化合物气相沉积方法在带有陪片的石墨舟上生长一层AlGaN薄膜; 2)置换另一带有蓝宝石衬底的石墨舟; 3)按正常工艺生长氮化物多量子阱发光二极管结构...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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