下载氮化物多量子阱发光二极管结构的生长方法的技术资料

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一种氮化物多量子阱发光二极管结构的生长方法,其步骤包括:    1)采用金属有机化合物气相沉积方法在带有陪片的石墨舟上生长一层AlGaN薄膜;    2)置换另一带有蓝宝石衬底的石墨舟;    3)按正常工艺生长氮化物多量子阱发光二极管结构...
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