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在一种光刻投射装置中，液体供给系统在投射系统的最后元件和带有液体封闭系统的基底之间的空间保持液体。该液体供给系统还包括用于净化浸液的脱矿物质单元、蒸馏单元和ＵＶ照射源。为了抑制生命体生长，化学药品可以加到浸液中，并且液体供给系统的部件可以由...
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