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布线图形产生方法技术
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文档序号:3204388
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本发明能够在布线掩模图形的产生中,抑制将由单一最小线宽数据产生的布线图形在半导体装置等中使用而引起的布线的可靠性降低或制造成品率下降。在产生连接根据逻辑电路数据来配置的功能元件彼此的布线的掩模上的设计布线图形时,产生基于最小线宽数据的布线图...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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