下载电容元件及半导体存储装置的技术资料

文档序号:3204385

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本发明涉及电容元件及半导体存储装置,电容元件(22),具有立体形状的下部电极(19),和该下部电极(19)相对形成的上部电极(21),和在下部电极(19)和上部电极(21)之间形成的由结晶化的铁电体构成的电容绝缘膜(20)。电容绝缘膜(20...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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