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分子束外延生长设备和控制它的方法技术
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文档序号:3204384
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在使用组Ⅴ材料(和/或组Ⅵ材料)的多个分子束的系统中,将旋转射线遮断器(8)等安装在这些多个组Ⅴ分子束源发射管(5、6)(和/或组Ⅵ分子束源发射管)的相应发射器的前方;执行引起从相应的分子束源发射管(5、6)发射的分子束以周期方式被重复地阻...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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