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在从ＳＭＩＦ模板舱（２８）的搬入搬出口（２２Ａ、２２Ｂ）到掩模台（ＲＳＴ）的掩模传送路径中途设置有可以存放多个掩模而且可以进出的缓冲装置（１１６）。而且，掩模传送系统（３２）在上述搬出搬入口（２２Ａ、２２Ｂ）、上述缓冲装置（１１６）和上述掩...
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