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薄膜电晶体阵列基板及其微影制造方法与光罩设计结构技术
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文档序号:3204373
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一种薄膜电晶体阵列基板的微影制造方法,其特征在于其包括以下步骤: 提供一光罩,该光罩具有一非显示元件区以及一显示元件区,其中该非显示元件区中邻近该显示元件区之处是设计有复数个拟画素图案; 将该光罩设置在一基板上方,且该基板上已形...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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