下载铜电镀薄膜方法的技术资料

文档序号:3204335

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一种铜电镀薄膜方法,包括:先在阻挡层上沉积铜籽晶层,然后再在该铜籽晶层上以电化学电镀方法生长出电镀铜薄膜层;其特征是:该方法在上述两步骤之间还包括对铜籽晶层进行表面处理的步骤。...
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