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本发明揭露一种以无探针非侵入性方式来侦测集成电路元件的电子信号的系统。本系统包含一照射源、聚光装置、摄像光学装置及光子感应器。在导引模式中，光源被启动，摄像光学装置用于辨识晶片上的目标区并适当定位聚光装置。聚光装置适当予以定位后，光源即关闭...
该专利属于亚帕托尼克斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚帕托尼克斯公司授权不得商用。

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