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在将由通道划分的区域中形成了电路的半导体晶片W分割成各个电路的半导体芯片的情况下,通过靠激发而降低粘结力的粘结片,在支承板(13)上粘贴半导体晶片W的表面,使半导体晶片W的背面(10)露出,对与支承板(13)一体的半导体晶片W的背面(10)...该专利属于积水化学工业株式会社;株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过积水化学工业株式会社;株式会社迪思科授权不得商用。
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在将由通道划分的区域中形成了电路的半导体晶片W分割成各个电路的半导体芯片的情况下,通过靠激发而降低粘结力的粘结片,在支承板(13)上粘贴半导体晶片W的表面,使半导体晶片W的背面(10)露出,对与支承板(13)一体的半导体晶片W的背面(10)...