下载大计量离子注入法制备磁体/半导体混杂结构的方法的技术资料

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大计量离子注入法制备磁体/半导体混杂结构的方法,其特征在于,包括如下步骤:    选择半导体材料为衬底;    在半导体衬底中直接进行大计量离子注入;    退火,使得磁性团族均匀分布于衬底中。...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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