专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国科学院半导体研究所
>
大计量离子注入法制备磁体/半导体混杂结构的方法技术
>技术资料下载
下载大计量离子注入法制备磁体/半导体混杂结构的方法的技术资料
文档序号:3204287
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
大计量离子注入法制备磁体/半导体混杂结构的方法,其特征在于,包括如下步骤: 选择半导体材料为衬底; 在半导体衬底中直接进行大计量离子注入; 退火,使得磁性团族均匀分布于衬底中。...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。