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一种沟渠电容浅沟绝缘的制作方法，包含有：　　　　提供一半导体基底，其上具有一硬掩膜，其中该半导体基底表面区分为逻辑区域（ｌｏｇｉｃ　　ａｒｅａ）以及存储数组区域（ｍｅｍｏｒｙ　　ａｒｒａｙ　　ａｒｅａ），该存储数组区域内已制作有多个深沟渠电...
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