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根据本发明，提供一种用于静电吸引绝缘基片的静电吸盘、使用静电吸盘加热／冷却绝缘基片的装置、和控制绝缘基片温度的方法。公开了形成静电吸盘的绝缘材料的形状和特性、和电极的形状。还公开了包括板、气体输送管道和温度控制系统的用于加热／冷却绝缘基片的...
该专利属于东陶机器株式会社;株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过东陶机器株式会社;株式会社爱发科授权不得商用。

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