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提高快闪存储器元件中栅极耦合比的制造方法及结构技术
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下载提高快闪存储器元件中栅极耦合比的制造方法及结构的技术资料
文档序号:3204229
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一种制造快闪存储器元件的方法,包括: 提供一半导体底材; 形成一栅极氧化层于该半导体底材上; 形成一第一半导体层于该栅极氧化层上; 形成一绝缘层于该第一半导体层上; 移除部份该绝缘层以暴露出部份该第一半导体层;...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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