下载动态随机存取存储单元及其制造方法的技术资料

文档序号:3204148

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一种动态随机存取存储单元,其包括配置在一基底上的半导体柱体、配置在半导体柱体下部的侧壁上的电容器以及配置在半导体柱体上部的侧壁上的垂直式晶体管。而垂直式晶体管包括第一掺杂区、第二掺杂区、栅极以与门绝缘层。而第一掺杂区位于半导体柱体的侧壁中且...
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