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准双栅场效应晶体管制造技术
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文档序号:3204144
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本发明提供了一种准双栅场效应晶体管,属于微电子半导体技术领域。该准双栅场效应晶体管包括:源、漏区、隔离区、体以及前、后栅,前栅为多晶硅,前栅与沟道区之间设有一层栅氧,后栅为掺杂的单晶硅,后栅与体直接固定连接,形成P-N结。与传统的FinFE...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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