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本发明涉及一种在微环境中处理工件的设备和方法。该设备包括形成一处理膛的第一膛部件和第二膛部件；在第一膛部件或第二膛部件上的处理流体的入口；以及一排空间分隔的出口，每个出口设置在距该第一膛部件和第二膛部件的旋转轴相同的半径距离，用于通过旋转该...
该专利属于塞米特公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞米特公司授权不得商用。

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