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为了使用激光束照射的方法晶化非晶半导体膜，使用了激光束照射非晶半导体膜的上表面和后表面。在此情形下，应用于上表面的激光束的有效能量强度Ｉｏ与应用于后表面的激光束的有效能量强度Ｉｏ′满足关系０＜Ｉｏ′＜Ｉｏ＜１或１＜Ｉｏ′／Ｉｏ。由此给出了能...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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