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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种料盘用防卡料装置，包括通过旋转轴可转动地安装在机台面板上的料盘，料盘中部开设有与旋转轴相匹配的中心轴孔，料盘包括两块相互平行的圆形侧板，两侧板中部之间设置有中心筒，机台面板上设置有安装座，安装座上经转轴...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

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