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公开了一种用于制造图形化金属层的方法。该方法包括在衬底上形成单分子层掩模的步骤(106)。该掩模将被用于金属层(108)的选择性无电镀沉积。这样,金属层就会在没有单分子层的区域生长。因此,长出的金属层就能形成薄膜晶体管的中间有间隙的源电极和...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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公开了一种用于制造图形化金属层的方法。该方法包括在衬底上形成单分子层掩模的步骤(106)。该掩模将被用于金属层(108)的选择性无电镀沉积。这样,金属层就会在没有单分子层的区域生长。因此,长出的金属层就能形成薄膜晶体管的中间有间隙的源电极和...