下载用于确定源和漏以及中间间隙的方法的技术资料

文档序号:3204042

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种用于制造图形化金属层的方法。该方法包括在衬底上形成单分子层掩模的步骤(106)。该掩模将被用于金属层(108)的选择性无电镀沉积。这样,金属层就会在没有单分子层的区域生长。因此,长出的金属层就能形成薄膜晶体管的中间有间隙的源电极和...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。