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一种研磨垫，其特征是，包括：　　　　复数个研磨颗粒，其中每一研磨颗粒包括：　　　　一黏结剂；以及　　　　复数个研磨粒，该些研磨粒均匀分布于该黏结剂中，　　　　其中该些研磨颗粒与晶圆接触的表面为一凹凸表面。...
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