下载一种晶圆瑕疵观测设备的技术资料

文档序号:32040216

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本实用新型公开的属于观测设备技术领域,具体为一种晶圆瑕疵观测设备,包括支架、传输架、传输框和图像识别装置,所述支架的顶部通过螺栓固定连接顶部携带所述传输框的所述传输架,所述支架的内腔顶部通过螺栓固定连接所述图像识别装置,该种晶圆瑕疵观测设备...
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