温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种形成垂直式快闪存储器的方法,其特征包括下列步骤: 利用蚀刻掩膜蚀刻底材形成一凹陷区域以利于制作漏极与源极区域; 利用离子布植植入离子进入该凹陷区域的上述底材中特定深度以形成该漏极与源极区域; 回填第一绝缘材料于该底材之...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种形成垂直式快闪存储器的方法,其特征包括下列步骤: 利用蚀刻掩膜蚀刻底材形成一凹陷区域以利于制作漏极与源极区域; 利用离子布植植入离子进入该凹陷区域的上述底材中特定深度以形成该漏极与源极区域; 回填第一绝缘材料于该底材之...