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一种隔离沟槽的侧壁掺杂方法，包括：　　　　提供一衬底，该衬底具有多个沟槽；　　　　于该些沟槽中形成一阻挡层，该阻挡层的顶面低于该衬底的顶面；　　　　进行一侧壁掺杂工艺，以于该些沟槽侧壁顶部的该衬底中形成一掺杂区；以及　　　　去除该些沟槽中的...
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