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文档序号:3203904

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本发明提供一种中间芯片,用于取得半导体芯片间的电连接,具有:具有第一面和第二面的基板;向该基板的所述的一面侧突出的贯通电极;在所述基板的第二面侧,在俯视的状态下,配置在与所述贯通电极不同的位置上的柱电极;配置在所述基板中或所述基板面上,使所...
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