温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于一液晶显示器设备的装置，其包含：用于处理一基板的处理腔室；具有至少一个内部传送器的一个负荷锁定腔室（ｌｏａｄ－ｌｏｃｋ　　ｃｈａｍｂｅｒ）；及一连接到该处理腔室及该至少一个负荷锁定腔室的转移腔室，该转移腔室具有一基板转移构件。...
该专利属于周星工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过周星工程股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。