下载一种真空基座的技术资料

文档序号:32038525

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种真空基座,属于半导体治具的技术领域。其真空基座(2)设置于基座本体(1)的上方,所述真空基座(2)的上表面开设若干条与真空基座(2)的长边平行的真空槽(23),所述真空槽(23)分两列,分别偏向于真空基座(2)的短边设置...
该专利属于星科金朋半导体(江阴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过星科金朋半导体(江阴)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。