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将对基板和光掩膜之间进行位置对合的对准标记形成于基板的构成器件的部分中的、并在基板上所施行的以后的工序中可以从基板上被除去的部位上，其中，在上述基板上构成有多个的器件，而上述光掩膜对涂覆在基板上的抗蚀保护层在用照相平版印刷工艺进行图形制作时...
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