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本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种基于硅片加工用清洗装置，包括装置本体，所述装置本体的顶部固定连接有连接架，所述连接架的内顶壁固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接有电机。该基于硅片加工用清洗装置，通过设置旋转臂、转座、连框、放...
该专利属于开化晶芯电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过开化晶芯电子有限公司授权不得商用。

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