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动态随机存取存储器制造方法及结构技术
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文档序号:3203543
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一种动态随机存取存储器制造方法,包括: 在一基底上形成多个沟渠; 在每一沟渠中形成一电容器; 在所述基底上定义出多个有源区; 在所述基底上形成多条字线; 在每一有源区中形成二源/漏极区;以及 在所述基底上...
该专利属于茂德科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过茂德科技股份有限公司授权不得商用。
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