下载动态随机存取存储器制造方法及结构的技术资料

文档序号:3203543

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一种动态随机存取存储器制造方法,包括:    在一基底上形成多个沟渠;    在每一沟渠中形成一电容器;    在所述基底上定义出多个有源区;    在所述基底上形成多条字线;    在每一有源区中形成二源/漏极区;以及    在所述基底上...
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