下载半导体元件钝化方法的技术资料

文档序号:3203542

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一种半导体元件的钝化方法,至少包含:    将一半导体元件置于一反应室之中,且该半导体元件具有一第一型晶体管及一第二型晶体管;    将一第一钝化气体及一第二钝化气体通入该反应室之中;以及    加热该半导体元件,直到足以对该半导体元件产生...
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