下载硅芯片/玻璃环键合装置的技术资料

文档序号:3203516

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本发明的目的是提供一种适合于大批量生产的硅芯片/玻璃环键合装置,装置中电烙铁既作为上电极又作为加热件,其固定在不锈钢支架上并通过不锈钢支架可以上下前后移动,其上连接导线与开孔钢板通过直流变压器形成直流回路,提供静电场,自身通过220伏特的交...
该专利属于江苏大学所有,仅供学习研究参考,未经过江苏大学授权不得商用。

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