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本实用新型公开了一种掩膜板,以改善现有技术在通过掩膜板形成发光基板的图案时,存在蒸镀位置不准确,容易产生混色的问题。所述掩膜板,用于采用光罩多分割曝光工序形成的母板进行遮挡,所述母板具有因多分割曝光工序形成无法曝光的基板无效区,其中,所述掩...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种掩膜板,以改善现有技术在通过掩膜板形成发光基板的图案时,存在蒸镀位置不准确,容易产生混色的问题。所述掩膜板,用于采用光罩多分割曝光工序形成的母板进行遮挡,所述母板具有因多分割曝光工序形成无法曝光的基板无效区,其中,所述掩...