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本公开的实施例涉及微机械超声换能器以及电子系统。一种微机械超声换能器，包括：膜元件，配置为发射或接收超声波，在超声波的发射或接收期间，膜元件以谐振频率关于平衡位置振荡，膜元件的平衡位置根据施加到膜元件的偏置电信号而可变化；以及帽结构，覆盖膜...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

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